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中国科学院半导体研究所机构知识库
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中科院半导体材料科学... [1]
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感应加热式MOCVD设备的模拟仿真与研制
学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2018
作者:
梅书哲
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提交时间：2018/06/11
Mocvd
感应加热
温度均匀性
流场温场
建模仿真
