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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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研究单元&专题
中国科学院半导体研究... [8]
作者
刘兴昉 [6]
赵永梅 [1]
文献类型
专利 [5]
会议论文 [1]
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2008 [5]
2007 [3]
语种
中文 [6]
英语 [2]
出处
Silicon Ca... [1]
半导体学报 [1]
资助项目
收录类别
CPCI-S [1]
CSCD [1]
资助机构
II VI Inc.... [1]
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基于氮化铝缓冲层的硅基3C-碳化硅异质外延生长方法
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2008-10-08, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:
赵永梅
;
孙国胜
;
刘兴昉
;
李家业
;
王雷
;
赵万顺
;
李晋闽
;
曾一平
Adobe PDF(365Kb)
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浏览/下载:1642/230
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提交时间:2009/06/11
一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置
专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2008-08-13, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:
孙国胜
;
王雷
;
赵万顺
;
李家业
;
赵永梅
;
刘兴昉
Adobe PDF(685Kb)
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浏览/下载:1465/186
  |  
提交时间:2009/06/11
用于MEMS器件的大面积3C-SiC薄膜的制备方法
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2008-03-26, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:
刘兴昉
;
孙国胜
;
李晋闽
;
赵永梅
;
王雷
;
赵万顺
;
李家业
;
曾一平
Adobe PDF(494Kb)
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浏览/下载:1587/218
  |  
提交时间:2009/06/11
一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置
专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2008-01-02, 公开日期: 2009-06-04
发明人:
孙国胜
;
王雷
;
赵万顺
;
李家业
;
赵永梅
;
刘兴昉
Adobe PDF(730Kb)
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浏览/下载:1428/167
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提交时间:2009/06/11
一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2008-01-02, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:
孙国胜
;
王雷
;
赵万顺
;
李家业
;
赵永梅
;
刘兴昉
Adobe PDF(682Kb)
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浏览/下载:1243/158
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提交时间:2009/06/11
宽带隙半导体材料SiC 外延生长工艺的研究
学位论文
, 北京: 中国科学院半导体研究所, 2007
作者:
李家业
Adobe PDF(1534Kb)
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浏览/下载:1044/33
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提交时间:2009/04/13
Heavily doped polycrystalline 3C-SiC growth on SiO2/Si(100) substrates for resonator applications
会议论文
Silicon Carbide and Related Materials 2006丛书标题: MATERIALS SCIENCE FORUM, Newcastle upon Tyne, ENGLAND, SEP, 2006
作者:
Sun, G (Sun, Guosheng)
;
Ning, J (Ning, Jin)
;
Liu, X (Liu, Xingfang)
;
Zhao, Y (Zhao, Yongmei)
;
Li, J (Li, Jiaye)
;
Wang, L (Wang, Lei)
;
Zhao, W (Zhao, Wanshun)
;
Wang, L (Wang, Liang)
;
Sun, G, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China.
Adobe PDF(992Kb)
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浏览/下载:1714/222
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提交时间:2010/03/29
Polycrystalline 3c-sic
Resonator
Doping
Silicon-carbide
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Li Jiaye
;
Zhao Yongmei
;
Liu Xingfang
;
Sun Guosheng
;
Luo Muchang
;
Wang Lei
;
Zhao Wanshun
;
Zeng Yiping
;
Li Jinmin
Adobe PDF(323Kb)
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浏览/下载:1022/397
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提交时间:2010/11/23