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A silicon capacitive microphone based on oxidized porous silicon sacrificial technology 会议论文
2004 7TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUITS TECHNOLOGY, Beijing, PEOPLES R CHINA, OCT 18-21, 2004
作者:  Ning, J;  Liu, ZL;  Liu, HZ;  Ge, YC;  Ning, J, Chinese Acad Sci, Microelect R&D Ctr, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China.
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Silicon Capacitive Microphone  Oxidized Porous Silicon  Sacrificial Layer  
无权访问的条目 期刊论文
作者:  宁瑾;  刘忠立;  刘焕章;  葛永才
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  王姝睿;  刘忠立;  徐萍;  葛永才;  姚文卿;  高翠华
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  陆大成;  韩培德;  刘祥林;  王晓晖;  汪度;  袁海荣;  王良臣;  徐萍;  姚文卿;  高翠华;  刘焕章;  葛永才;  郑东
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  高凤升;  龚秀英;  葛永才
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