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中国科学院半导体研究所机构知识库
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提交时间:2019/11/15
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提交时间:2016/03/29
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期刊论文
作者:
Jinming Liu, Youwen Zhao, Zhiyuan Dong, Fengyun Yang, Fenghua Wang
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提交时间:2014/03/18
降低衬底表面残留杂质浓度的方法
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-04-03, 2013-04-03
发明人:
刘京明
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赵有文
;
王凤华
;
杨凤云
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提交时间:2014/10/24