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多轴高性能MEMS加速度计的关键制备技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2024
作者:  魏振宇
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Xu, Pengfei;   Wei, Zhenyu;   Jia, Lu;   Zhao, Yongmei;   Han, Guowei;   Si, Chaowei;   Ning, Jin;   Yang, Fuhua
Adobe PDF(5513Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/03/28
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Xu, Pengfei;   Wei, Zhenyu;   Guo, Zhiyu;   Jia, Lu;   Han, Guowei;   Si, Chaowei;   Ning, Jin;   Yang, Fuhua
Adobe PDF(4556Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/07/26
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Xu, Pengfei;   Si, Chaowei;   He, Yurong;   Wei, Zhenyu;   Jia, Lu;   Han, Guowei;   Ning, Jin;   Yang, Fuhua
Adobe PDF(10261Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/05/09
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Wei Qin;  Di Xiao;  Kai Chang;  Shun-Qing Shen;  Zhenyu Zhang
Adobe PDF(964Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：237/1  |  提交时间：2017/03/10
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Wei Qin;  Di Xiao;  Kai Chang;  Shun-Qing Shen;  Zhenyu Zhang
Adobe PDF(964Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：158/0  |  提交时间：2017/03/10
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Fan Nan;  Ya-Fang Zhang;  Xiaoguang Li;  Xiao-Tian Zhang;  Hang Li;  Xinhui Zhang;  Ruibin Jiang;  Jianfang Wang;  Wei Zhang;  Li Zhou;  Jia-Hong Wang;  Qu-Quan Wang;  Zhenyu Zhang
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Guowei, Wang;  Wei, Xiang;  Yingqiang, Xu;  Liang, Zhang;  Zhenyu, Peng;  Yanqiu, Lü;  Junjie, Si;  Juan, Wang;  Junliang, Xing;  Zhengwei, Ren;  Zhichuan, Niu
Adobe PDF(4993Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：367/68  |  提交时间：2014/03/26
无权访问的条目 期刊论文
作者:  郭杰;  彭震宇;  鲁正雄;  孙维国;  郝瑞亭;  周志强;  许应强;  牛智川
Adobe PDF(476Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1696/492  |  提交时间：2010/11/23
无权访问的条目 期刊论文
作者:  郭杰;  孙维国;  彭震宇;  周志强;  徐应强;  牛智川
Adobe PDF(321Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1671/721  |  提交时间：2010/11/23