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Ⅲ族氮化物材料热壁化学气相沉积制备研究 学位论文
工学博士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  牛慧丹
Adobe PDF(6073Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：908/1  |  提交时间：2023/07/03
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Yao, Weizhen;   Wang, Lianshan;   Meng, Yulin;   Yang, Shaoyan;   Liu, Xianglin;   Niu, Huidan;   Wang, Zhanguo
Adobe PDF(4544Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/09/29