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基于硅玻璃复合盖板制备的 MEMS 音叉陀螺仪关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2024
作者:  贾璐
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Xu, Pengfei;   Wei, Zhenyu;   Jia, Lu;   Zhao, Yongmei;   Han, Guowei;   Si, Chaowei;   Ning, Jin;   Yang, Fuhua
Adobe PDF(5513Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/03/28
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Xu, Pengfei;   Wei, Zhenyu;   Guo, Zhiyu;   Jia, Lu;   Han, Guowei;   Si, Chaowei;   Ning, Jin;   Yang, Fuhua
Adobe PDF(4556Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/07/26
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Xu, Pengfei;   Si, Chaowei;   He, Yurong;   Wei, Zhenyu;   Jia, Lu;   Han, Guowei;   Ning, Jin;   Yang, Fuhua
Adobe PDF(10261Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/05/09
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Li, Guangyi;   Shi, Difei;   Jia, Zhiyao;   Wang, Lu;   Li, Ming;   Zhu, Ning Hua;   Li, Wei
Adobe PDF(2076Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/07/26
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Keshuang Li;   Junjie Yang;   Ying Lu;   Mingchu Tang;   Pamela Jurczak;   Zizhuo Liu;  Xuezhe Yu;   Jae-Seong Park;   Huiwen Deng;   Hui Jia;   Manyu Dang;   Ana M. Sanchez;  Richard Beanland;   Wei Li;   Xiaodong Han;   Jin-Chuan Zhang;   Huan Wang;   Fengqi Liu;  Siming Chen;   Alwyn Seeds
Adobe PDF(3829Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2021/05/24
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Qing-Hai Tan;   Yu-Jia Sun;   Xue-Lu Liu;   Kai-Xuan Xu;   Yuan-Fei Gao;   Shu-Liang Ren;   Ping-Heng Tan ;   Jun Zhang
Adobe PDF(2072Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2021/05/24
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Meng Da;   Cong Xin;   Leng Yu-Chen;   Lin Miao-Ling;   Wang Jia-Hong;   Yu Bin-Lu;   Liu Xue-Lu;   Yu Xue-Feng;   Tan Ping-Heng
Adobe PDF(2677Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2021/06/22
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Lian Zhang ;   Zhe Cheng;   Jianping Zeng ;   Hongxi Lu;   Lifang Jia;   Yujie Ai;   Yun Zhang
Adobe PDF(1999Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：85/1  |  提交时间：2020/07/31
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Jia Shi;  Yuanzheng Li;  Zhepeng Zhang;  Weiqiang Feng;  Qi Wang;  Shuliang Ren;  Jun Zhang;  Wenna Du;  Xianxin Wu;  Xinyu Sui;  Yang Mi;  Rui Wang;  Yuanhui Sun;  Lijun Zhang;  Xiaohui Qiu;  Jiong Lu;  Chao Shen;  Yanfeng Zhang;  Qing Zhang;  Xinfeng Liu
Adobe PDF(3769Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：46/0  |  提交时间：2020/08/04