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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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期刊论文
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Ting Li
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期刊论文
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Ting Li
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Bao Zhang
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Hailong Wang
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Jianhua Zhao
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Kaiyou Wang
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Xinhui Zhang
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提交时间:2020/07/31
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期刊论文
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提交时间:2019/11/18
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期刊论文
作者:
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提交时间:2019/11/18
半导体硅衬底上氧化铝介电薄膜硅离子注入腐蚀方法
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-06-13, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:
王启元
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王俊
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王建华
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提交时间:2009/06/11