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感应加热式MOCVD设备的模拟仿真与研制 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2018
作者:  梅书哲
Adobe PDF(20542Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1084/57  |  提交时间：2018/06/11
Mocvd  感应加热  温度均匀性  流场温场  建模仿真