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中国科学院半导体研究所机构知识库
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半导体超晶格国家重点... [1]
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学位论文 [1]
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2023 [1]
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基于四方相ZrO2缺陷的DRAM电容器可靠性研究
学位论文
理学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:
李广卓
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提交时间：2023/07/03
