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电容式双端固支梁碳化硅MEMS谐振器的研制 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2012
作者:  康中波
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采用压电材料制备的阵列结构微机电谐振器 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-04-03, 2013-04-03
发明人:  康中波;  司朝伟;  宁瑾;  韩国威
Adobe PDF(456Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：919/100  |  提交时间：2014/10/24