| 用于太阳电池表面抗反射的蛾眼结构的制备方法; 用于太阳电池表面抗反射的蛾眼结构的制备方法 |
| 陈熙; 樊中朝; 李宁; 宋国锋; 陈良惠
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| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所
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| 公开日期 | 2012-09-09
; 2012-09-09
; 2012-09-09
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 发明
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| 摘要 | 一种用于太阳电池表面抗反射的蛾眼结构的制备方法,包括以下步骤：步骤1：取一太阳能电池所用的外延片,对外延片进行清洗；步骤2：在外延片上旋涂光刻胶；步骤3：对光刻胶进行前烘,形成样品；步骤4：采用双光束干涉曝光设备,对样品两次曝光、显影,形成二维周期光刻胶掩膜图形；步骤5：对显影后的样品进行后烘；步骤6：对样品进行干法刻蚀；步骤7：去除光刻胶掩膜图形,完成蛾眼结构的制备。 |
| 部门归属 | 纳米光电子实验室
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| 专利号 | CN102097535A
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| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 公开
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| 申请号 | CN201010573806.1
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23465
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| 专题 | 纳米光电子实验室
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
陈熙,樊中朝,李宁,等. 用于太阳电池表面抗反射的蛾眼结构的制备方法, 用于太阳电池表面抗反射的蛾眼结构的制备方法. CN102097535A.
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